±0,5 μm tekrarlanabilirlik ile konumlandırılarak gofret hasarı önlenebilir
Yarı iletken endüstrisi
Yarı iletken yongayı alt tabakadan ayırmak için Sökme Cihazı üreten bir yarı iletken cihaz üretim üreticisi.
Bir mekanizma tasarımcısı, sökme tahrikleri için konumlandırıcılarla ilgili bazı sorular sormak üzere bizimle iletişime geçti.
Tablo
Müşterinin Sorunları
Wafer'ın vakumlu emişle sahneden çıkarılması sırasında bir servo motor vakumlu emiş tertibatını kontrol eder;
Ancak, jigin ağırlığı altında gofretin hasar görmesi gibi sorunlarla karşılaşıyorlardı.
Cihaz, gofreti ve tablayı bir arada tutan mumu eriterek 200°C veya daha yüksek yüksek sıcaklık ortamının oluşmasını sağlar.
Emiş aparatının konumlandırılması için fotoelektrik sensör kullanmayı düşündüler ancak ortamın yüksek sıcaklığı nedeniyle gereken hassasiyeti elde edemediler.
Gofretin hafif yükler altında bile hasar gördüğü göz önüne alındığında, ±1μm tekrarlama hassasiyetinde konumlandırmanın zorunlu olduğu görülmektedir.
Yüksek hassasiyetli sensör arayışında olan Metrol ürünleriyle "Positioning EXPO 2015" fuarındaki standımızı ziyaret ederek tanıştı.
Sorunların ana odağı
Wafer emiş aparatının yüksekliği ±1μm tekrarlanabilirlikle tespit edilmelidir.
200℃ yüksek sıcaklık ortamı fotoelektrik sensörün kullanımını zorlaştırır.
Metrol'ün önerileri
Fotoelektrik sensörler ve lazer sensörler gibi optik sensörler dış ortamdan kolayca etkilenirler ve yüksek sıcaklık ortamlarında mikron seviyesinde konumlandırmaya uygun değildirler.
Metrol'ün "Hava Aralığı Sensörü" ±0,5µm tekrarlanabilirlik gösteren temassız bir sensördür.
Tahrik ünitesine bir nozul takın ve Hava Aralığı Sensörü sıcaklıktan etkilenmeyecek bir konuma yerleştirin.
Emiş aparatı ile tahrik mekanizması arasındaki boşluğun hava basıncındaki değişikliklerden algılanması, 200°C yüksek sıcaklık ortamında bile ±0,5μm tekrarlanabilirlikle hassas konumlandırmaya olanak tanır.
Vakum emiş aparatının hassas bir şekilde konumlandırılmasıyla, gofretin kırılması önlenebilir.
İyileştirmeler
Yüksek hassasiyetli boşluk tespiti kullanarak ±0,5 μm doğrulukla gofret emiş jig yüksekliğini tespit eder.
200°C'lik yüksek sıcaklık ortamlarında bile tutarlı doğruluk gösterir.
Metrol temsilcisinin yorumu
Yarı iletkenlerle sınırlı olmayan sektörlerden, vakum biriktirme cihazları ve püskürtme cihazları kullanan sahalardan "Yüksek sıcaklık ortamlarında çalışan, son derece hassas bir sensör istiyorum!" ifadelerini sıklıkla duyarız.
Burada tanıtılan "Hava Aralığı Sensörü" 200°C yüksek sıcaklık ortamlarında bile yüksek doğruluk göstermektedir.
Pres kalıplarında 10μm boşlukların tespiti ve kalıp hizalamasının tespiti dahil olmak üzere çeşitli alanlarda kanıtlanmış çok sayıda başarı geçmişine sahip, yüksek sıcaklıklarda oturma yerlerini doğru bir şekilde tespit edebilen.
Detektörde hava nozulu açılarak sonradan takılması mümkündür.
Yüksek sıcaklık ortamında "konumlandırma" "boşluk tespiti" konusunda herhangi bir sorun yaşarsanız lütfen bizimle iletişime geçmekten çekinmeyin.
Bu uygulamada kullanılan ürünler hakkında daha fazla bilgi için
Hava Aralığı Sensörü [Kısa menzil algılama tipi]
10µm boşluk güvenilir bir şekilde tespit edilebilir!
Fig ve iş parçasının "Hassasiyet oturma onayı"nı gerçekleştirin.
